熊本大学には2つのクリーンルームがあります。
それぞれの設備・装置・利用方法はこちらからご確認いただけます。
Kumamoto University has two clean rooms.
You can check the equipment, equipment, and usage methods for each facility here.
先端半導体研究クリーンルーム
Advanced semiconductor research clean room
熊本大学に2023年に設置されたサイドフロー型のクリーンルームです。 共同研究を通じて利用することが可能です。 将来的にはオープンラボにすることを検討しています。
This is a side flow clean room installed at Kumamoto University in 2023. It can be used through joint research. We are considering making it an open lab in the future.
先端半導体研究クリーンルーム
Advanced semiconductor research clean room
| クラス | class | １（ISO規格） | 1 (ISO standard) |
|---|---|---|---|
| 面積 | area | 130m2 (5m×26m) | |
| 場所 | place | VBL棟6階 黒髪南S9(研究実験棟) | VBL Building 6th floor Kurokami Minami S9 (Research Experiment Building) |
| 装置 | Device | ドラフトチャンバー（酸・有機対応）・純水装置 ・窒素精製機・マスクレス露光機 ・スピンコーター2台 ・熱処理炉2台・スパッタ装置・抵抗加熱蒸着機 ・RIE（ドライエッチング） | Draft chamber (acid/organic compatible), pure water equipment, nitrogen purifier, maskless exposure machine, 2 spin coaters, 2 heat treatment furnaces, sputtering equipment, resistance heating evaporation machine, RIE (dry etching) |
装置詳細 Device details
オープンラボクリーンルーム（OLCR）（仮称）
Open Lab Clean Room (OLCR) (tentative name)
2025年4月完成予定のＤＸイノベーションラボラトリー（仮称）の最上階に設置される予定の サイドフロー型のクラス1スーパークリーンルームです。 誰でも使用可能な共有設備を備えるオープンラボを予定しています。
The facility is scheduled to be installed on the top floor of the DX Innovation Laboratory (tentative name), which is scheduled to be completed in April 2025. This is a side flow type class 1 super clean room. We are planning an open lab with shared equipment that anyone can use.
OLCR
| クラス | class | １（ISO規格） | 1 (ISO standard) |
|---|---|---|---|
| 面積 | area | 115m2 (5m×23m) | |
| 場所 | place | DXイノベーションラボラトリー（仮称）5階 | DX Innovation Laboratory (tentative name) 5th floor |
| 装置 | Device | 2025年に導入 | Introduced in 2025 |
装置詳細 Device details
アクセス
access
